CCD線徑測量傳感器
CCD線徑測量傳感器-晶圓同心度與缺口檢測
CCD線徑測量傳感器-晶圓同心度與缺口檢測

行業痛點與需求:在芯片封測環節,對晶圓進行定心檢測和缺口檢測,以精確定位晶圓圓心和缺口位置,提高晶圓切割準確度和芯片生產良品率。

解決方案:采用富唯高精度CCD線徑測量傳感器,通過測量數據計算圓心位置,糾偏傳感器對晶圓缺口定位,實現晶圓中心和缺口位置精準定位。